熊本県菊陽町に半導体製造工場（JASM熊本工場） 2022.04.06 建設開始（2023年12月完成予定） 台湾TSMC 熊本工場 納入確定当社のエマックス製品が半導体製造工程に欠かせない洗浄工程に採用。 （40ｋｗ相当のエマックス１８台）
